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ペントロールバルブ
※ Please select product classify ※
APC ペントロールバルブ作動ビデオ
APC ペントロールバルブは装置システムに設置方式
1. バルブ
2. プロセスチャンバー
3. ガス導入の入り口
4. 圧力センサー
5. センサーケーブル
6. コントロール&駆動器
7. リモートコントロールケーブル
8. 電源ケーブル
9. ポンプ
主要応用
下流圧力コントロール及び隔離のバルブです。応用プロセス
>> SEMI - 半導体
>> FPD - フラットパネルディスプレー
>> CVD - 化学蒸着
>> Solar- ソーラー
特徴
- 集積圧力制御
- 正確な圧力制御
- 迅速な隔離
- 反応時間短い
- 優しいユーザーインターフェース
APC Connect Port

Model |
Connection |
Type |
Power |
Power input |
DB-9 male |
Sensor (Vacuum Gauge) |
Sensor input/ Sensor power supply |
DB-15 female |
Interface |
RS232 RS485(Option) |
DB-25 female |
Service |
APC service |
Mini USB type B female |
Monitor |
Show status |
Green LED display |
Specifications
- Sensor supply : 24V DC or ±15V DC
- Backup power : Yes
- Sensor input
- Q'ty of sensors:2 pcs
- Vacuum gauge: Linear / Exponent
- Signal voltage:0-10V DC linear with pressure
- Input resistance:Ri=47 k Ω
- Resolution:2.3 mV
- Sample rate:1ms - Control accuracy:0.1% of maximum sensor range
- Analog\Digital Easy Control
- Position resolution:8000 (step 0-75° rotation)
- Ambient temperature: 70°C max(Controller part -24HR)
APC software functions
Control via computer by using the APC software offers convenient functions
- Set control tuning parameter : GAIN
- Pressure and position control mode
- Schedule test Mode => 1 cycle schedule
- Set valve open/close speed
- Report APC HW/SW version, serial and model number
- Report valve cycles and run hours
- Set tolerance scope of pressure
- Cycles life and pressure control record
- Controller parameter upload and download
- Power failure protection
- Learning function
Control and actuating unit |
||
Input voltage |
+24 VDC(±10%) |
connector: POWER |
Power consumption |
150W(controller + motor) |
connector: POWER |
Sensor power supply output |
+24 VDC /+-15VDC, 500 mA |
connector: SENSOR |
Analog input |
||
Q’ty of sensors |
Independent 2 channel |
connector: SENSOR |
Input voltage |
0-10V DC linear |
connector: SENSOR |
Resolution |
2.3 mV |
connector: SENSOR |
Input resistance |
Ri>=47kΩ |
connector: SENSOR |
Analog output |
||
Q’ty of sensors |
Independent 2 channel |
connector: INTERFACE |
Outputs voltage |
0-10V DC linear |
connector: INTERFACE |
Digital Input/ Output |
||
Input |
Independent 2 channel |
connector: INTERFACE |
Output |
Independent 2 channel |
connector: INTERFACE |
Admissible operating temperature |
||
Valve |
120 ℃ |
|
Controller |
70 ℃ |
|
Control accuracy |
0.1% of maximum sensor range |
|
Position resolution |
8000 (step 0-90〫rotation) |
|
Backup power |
Yes |
|
ISO 200 |
||
Closing time |
<1.2sec |
|
opening time |
<1.2sec |
|
Valve max. torque |
270kg-cm |
|
ISO 250 |
||
Closing time |
<1.2sec |
|
opening time |
<1.2sec |
|
Valve max. torque |
880kg-cm |
|
ISO 320 |
||
Closing time |
<3.0sec |
|
opening time |
<3.0sec |
|
Valve max. torque |
880kg-cm |
Technical Data |
||||
Material |
Body |
A6061-T6 |
||
Gate |
A6061-T6 |
|||
Life Cycle |
Closing/Opening |
200,000 cycles |
||
Pressure Control |
1,000,000 cycles |
|||
Helium leak rates at 1 atm differential |
Body |
<1×10-9 mbar .l /sec |
||
Body |
<1×10-5 mbar .l /sec |
|||
Bake Temperature |
Body |
≤ 120 ℃ |
||
Actuator |
≤ 70 ℃ |
|||
Control box |
≤ 70 ℃ |
|||
Pressure Range |
Aluminum |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
||
Aluminum ,hard anodized |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
|||
Maximum ΔP |
1.2 bar |
|||
Max. ΔP during opening |
≤ 5 mbar |
|||
Compressed air pressure |
4 ~ 6 Kg/cm² |
|||
Opening/Closing time(sec) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|
1.2/1.2 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
||
Standard Seal |
Gate |
Viton O-ring |
||
Bonnet |
Viton O-ring |
|||
Weight |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|
22Kg |
31Kg |
51Kg |
||
Actuator |
Step Motor |
|||
Mounting position |
Horizontal & vertical |
|||
Options |
Other material of Gate O-ring |
Technical Data |
||||
Material |
Body |
A6061-T6 |
||
Gate |
A6061-T6 |
|||
Life Cycle |
Closing/Opening |
200,000 cycles |
||
Pressure Control |
1,000,000 cycles |
|||
Helium leak rates at 1 atm differential |
Body |
<1×10-9 mbar .l /sec |
||
Body |
<1×10-5 mbar .l /sec |
|||
Bake Temperature |
Body |
≤ 120 ℃ |
||
Actuator |
≤ 70 ℃ |
|||
Control box |
≤ 70 ℃ |
|||
Pressure Range |
Aluminum |
1×10-8 mbar to 1.2 bar |
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Aluminum ,hard anodized |
1×10-6 mbar to 1.2 bar |
|||
Maximum ΔP |
1.2 bar |
|||
Max. ΔP during opening |
≤ 5 mbar |
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Compressed air pressure |
4 ~ 6 Kg/cm² |
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Opening/Closing time(sec) |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|
1.2/1.2 |
1.2/1.2 |
2.0/2.0 |
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Standard Seal |
Gate |
Viton O-ring |
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Bonnet |
Viton O-ring |
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Weight |
ISO 200 |
ISO 250 |
ISO 320 |
|
22Kg |
31Kg |
51Kg |
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Actuator |
Step Motor |
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Mounting position |
Horizontal & vertical |
|||
Options |
Other material of Gate O-ring |
圧空式ペントロールバルブは大口径のスロートバルブとしてプロセスチャンバーとダブル分子ポンプの間に取付けている。Htc vacuum(日揚科技)のペントロールバルブは表面処理はアルミニウム合金と硬質アルマイトの2種類がある。製品の特徴は耐腐食、発塵小である。接続フランジのサイズは常に ISO 200,ISO 250,ISO 320以上で、駆動式は圧空式及びAPCの二つである。その大口径のスロートバルブはいつもゲートバルブ及びペントロールバルブに設計されている。製品は有機EL(OLED)、FPD、PV産業の製造装置に応用する。