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ペントロールバルブ

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APC ペントロールバルブ

3位置圧空式ペントロールバルブ

圧空式ペントロールバルブ（複動）

圧空式ペントロールバルブ（単動）

APC ペントロールバルブ

APC ペントロールバルブ-硬質アルマイト

APC ペントロールバルブ作動ビデオ

APC ペントロールバルブは装置システムに設置方式

1. バルブ
2. プロセスチャンバー
3. ガス導入の入り口
4. 圧力センサー
5. センサーケーブル
6. コントロール＆駆動器
7. リモートコントロールケーブル
8. 電源ケーブル
9. ポンプ

主要応用

下流圧力コントロール及び隔離のバルブです。

応用プロセス

>> SEMI - 半導体
>> FPD - フラットパネルディスプレー
>> CVD - 化学蒸着
>> Solar- ソーラー

特徴

集積圧力制御
正確な圧力制御
迅速な隔離
反応時間短い
優しいユーザーインターフェース

APC Connect Port

Model	Connection	Type
Power	Power input	DB-9 male
Sensor (Vacuum Gauge)	Sensor input/ Sensor power supply	DB-15 female
Interface	RS232 RS485(Option)	DB-25 female
Service	APC service	Mini USB type B female
Monitor	Show status	Green LED display

Specifications

Sensor supply : 24V DC or ±15V DC
Backup power : Yes
Sensor input
－ Q'ty of sensors：2 pcs
－ Vacuum gauge: Linear / Exponent
－ Signal voltage：0-10V DC linear with pressure
－ Input resistance：Ri=21 k Ω
－ Resolution：2.3 mV
－ Sample rate：1ms
Control accuracy：0.1% of maximum sensor range
Analog\Digital Easy Control
Position resolution：8000 (step 0-75° rotation)
Ambient temperature: 70°C max(Controller part -24HR)

APC software functions

Control via computer by using the APC software offers convenient functions

Set control tuning parameter : GAIN
Pressure and position control mode
Schedule test Mode => 1 cycle schedule
Set valve open/close speed
Report APC HW/SW version, serial and model number
Report valve cycles and run hours
Set tolerance scope of pressure
Cycles life and pressure control record
Controller parameter upload and download
Power failure protection
Learning function

apc pendulum valve software

Control and actuating unit
Input voltage	+24 VDC(±10%)	connector: POWER
Power consumption	150W(controller + motor)	connector: POWER
Sensor power supply output	+24 VDC /+-15VDC， 500 mA	connector: SENSOR
Analog input
Q’ty of sensors	Independent 2 channel	connector: SENSOR
Input voltage	0-10V DC linear	connector: SENSOR
Resolution	2.3 mV	connector: SENSOR
Input resistance	Ri>=21kΩ	connector: SENSOR
Analog output
Q’ty of sensors	Independent 2 channel	connector: INTERFACE
Outputs voltage	0-10V DC linear	connector: INTERFACE
Digital Input/ Output
Input	Independent 2 channel	connector: INTERFACE
Output	Independent 2 channel	connector: INTERFACE
Admissible operating temperature
Valve	120 ℃
Controller	70 ℃
Control accuracy	0.1% of maximum sensor range
Position resolution	8000 (step 0-90〫rotation)
Backup power	Yes
ISO 200
Closing time	<1.2sec
opening time	<1.2sec
Valve max. torque	270kg-cm
ISO 250
Closing time	<1.2sec
opening time	<1.2sec
Valve max. torque	880kg-cm
ISO 320
Closing time	<3.0sec
opening time	<3.0sec
Valve max. torque	880kg-cm

Technical Data
Material	Body		A6061-T6
	Gate		A6061-T6
Life Cycle	Closing/Opening		200,000 cycles
	Pressure Control		1,000,000 cycles
Helium leak rates at 1 atm differential	Body Aluminum		＜1×10^-9 mbar .l /sec
	Body Aluminum ,hard anodized		＜1×10^-5 mbar .l /sec
Bake Temperature	Body		≤ 120 ℃
	Actuator		≤ 70 ℃
	Control box		≤ 70 ℃
Pressure Range	Aluminum		1×10^-8 mbar to 1.2 bar
	Aluminum ,hard anodized		1×10^-6 mbar to 1.2 bar
Maximum ΔP	1.2 bar
Max. ΔP during opening	≤ 5 mbar
Compressed air pressure	4 ~ 6 Kg/cm²
Opening/Closing time(sec)	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	1.2/1.2	1.2/1.2		2.0/2.0
Standard Seal	Gate		Viton O-ring
	Bonnet		Viton O-ring
Weight	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	22Kg	31Kg		51Kg
Actuator	Step Motor
Mounting position	Horizontal & vertical
Options	Other material of Gate O-ring

Technical Data
Material	Body		A6061-T6
	Gate		A6061-T6
Life Cycle	Closing/Opening		200,000 cycles
	Pressure Control		1,000,000 cycles
Helium leak rates at 1 atm differential	Body Aluminum		＜1×10^-9 mbar .l /sec
	Body Aluminum ,hard anodized		＜1×10^-5 mbar .l /sec
Bake Temperature	Body		≤ 120 ℃
	Actuator		≤ 70 ℃
	Control box		≤ 70 ℃
Pressure Range	Aluminum		1×10^-8 mbar to 1.2 bar
	Aluminum ,hard anodized		1×10^-6 mbar to 1.2 bar
Maximum ΔP	1.2 bar
Max. ΔP during opening	≤ 5 mbar
Compressed air pressure	4 ~ 6 Kg/cm²
Opening/Closing time(sec)	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	1.2/1.2	1.2/1.2		2.0/2.0
Standard Seal	Gate		Viton O-ring
	Bonnet		Viton O-ring
Weight	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	22Kg	31Kg		51Kg
Actuator	Step Motor
Mounting position	Horizontal & vertical
Options	Other material of Gate O-ring

圧空式ペントロールバルブは大口径のスロートバルブとしてプロセスチャンバーとダブル分子ポンプの間に取付けている。Htc vacuum(日揚科技)のペントロールバルブは表面処理はアルミニウム合金と硬質アルマイトの2種類がある。製品の特徴は耐腐食、発塵小である。接続フランジのサイズは常に ISO 200,ISO 250,ISO 320以上で、駆動式は圧空式及びAPCの二つである。その大口径のスロートバルブはいつもゲートバルブ及びペントロールバルブに設計されている。製品は有機EL(OLED)、FPD、PV産業の製造装置に応用する。

pendulum-valve