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ペントロールバルブ

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3位置圧空式ペントロールバルブ

APC ペントロールバルブ

圧空式ペントロールバルブ

3位置圧空式ペントロールバルブ

3位置圧空式ペントロールバルブ-硬質アルマイト

3位置圧空式ペントロールバルブ-ニッケルメッキ

3位置ペントロールバルブ、リードセンサー付き、より良い圧力制御可能

日揚科技(Htc vacuum)の3位置ペントロールバルブはエアーシリンダーを経由して、真空隔離と真空圧力の
制御を実現する。コントロールバルブがリードセンサーを付いてる、コントローラーの制御でバルブが全開、全閉以外、第3位置でストップ可能である。正確な設定位置の制御精度と再現性を提供する。

日揚科技(Htc vacuum)の真空ペントロールバルブは高性能の真空圧力のコントロールシステムを持っているのから、正確にゲートプレートの開閉を制御し、第3位置の開度と圧力を調整可能である。ペンドロールバルブの設計は作動の部品が少ないから、金属部品同士の摩擦も減少できるし、発塵も減少できる。
ペンドロールバルブの取付スペーサはゲートバルブより小さいから、部分のゲートバルブを切替る。

圧空式ペントロールバルブは大口径のスロートバルブとしてプロセスチャンバーとダブル分子ポンプの間に取付けている。Htc vacuum(日揚科技)のペントロールバルブは表面処理はニケッルメッキと硬質アルマイトの2種類がある。製品の特徴は耐腐食、発塵小である。接続フランジのサイズは常に ISO 250以上で、駆動式は圧空式及びAPCの二つである。その大口径のスロートバルブはいつもゲートバルブ及びペントロールバルブに設計されている。製品は有機EL(OLED)、FPD、PV産業の製造装置に応用する。

材質	ボーディ			アルミ-A6061-T6
	ゲート			アルミ-6061-T6
寿命	20万回サイクル
1大気圧でヘリウムリークレート	ボーディアルミーニケッルメッキ			＜1×10^-9 mbar .l /sec
	ボーディアルミー硬質アルマイト			＜1×10^-5 mbar .l /sec
べーキン温度	ボディー		≤ 120℃
	エクチュエーター		≤ 80℃
	電磁弁		≤ 50℃
圧力範囲	ニッケルメッキ : 1×10^-8 mbar から 1.2 barまで硬質アルマイト : 1×10^-6 mbar から 1.2 barまで
最大差圧 ΔP	2 bar
開いている最大差圧 ΔP	≤ 5 mbar
圧縮エアー圧力	4 ~ 6 Kg/cm²
開 / 閉　時間	4 / 4 sec
標準シール	ゲート	バイトン Oリング
	ボンネット	バイトン Oリング
エクチュエーター	圧空式(電磁弁制御)
重量	ISO200 : 25 Kg ISO250 : 32 Kg
取付方向	水平（シリンダアップ）または垂直
オプション	a. 他材質のゲートシール Oリング b. ヒーター