APC Butterfly Valve for DeviceNET

APC バターフライバルブ-DeviceNet通訊装置に設置方式

APC Butterfly Valve for DeviceNET

主要応用

真空圧力制御及び隔離

応用産業

>> SEMI - 半導体 
>> FPD - フラットパネルディスプレイ
>> PVD - 物理蒸着
>> Solar - 太陽電池

APC Butterfly valve-DeviceNet

Specifications

>> 快速に正確な圧力の制御
>> バルブ位置制御
>> 予備電源：有り、停電時、バルブの閉める用
>> センサー電源：有り、24V DCと±15V DCの両方とも有り
>>  2つのセンサー接続可能で、2種の操作モードを選択可能
>> 簡単にアナログとデジダルの制御 
>> 環境温度:最高70度以内(コントロール部分―24時間)
>> リモート制御(客先オプション可)
>> 初回調整時、パソコン(RS232)で調整可
>> バルブの状態と位置はコントローラーに緑のライトで表示

Model	Connection	Connection  Type
Power	Power input	DB-9 male
Sensor (Vacuum Gauge)	Sensor input/ Sensor power supply	DB-15 female
Interface	DeviceNET	M-12 male
Digital I/O	DI/DO	M-8 male
Node Address	Address/ Baud rate	8pin DIP switch
Service	APC service	Mini USB female
Monitor	Show status	Green LED display

APC software functions for DeviceNet

APCソフトウェアーの使用、便利なパソコン操作性能を提供できる

• 制御チューニングパラメータを設定する: GAIN
• 圧力及び位置制御モード
• スケジュールテストモード=> 1 サイクル スケジュール
• バルブ開/閉速度設定
• APC HW/SW バージョン、シリアルコード、モデル番を記録する
• バルブサイクルと実行時間を記録する
• 圧力の公差範囲を設定する
• サイクルライフ及び圧力制御を記録する
• コントローラーパラメータをアップロードとダウンロード
• 停電保護
• 圧力ラーリング機能

APC butterfly valve for DeviceNet specification

Valve unit
Material	Body	304S.S. (*1)
	Plate	304S.S. (*1)
	Shaft	304S.S.
	Gate seal	Viton
	Shaft seal	Viton
Flange	KF、ISO、CF
Mounting position	Any
Cycles until first service	Pressure control	2,000,000(*2)
	Closing / Opening	250,000
Helium leak rate at 1 atm differential	< 1 x 10-9 mbar．l/sec
Pressure range	1 x 10-8 mbar to 1.2 bar
Operating temperature	Body	10°C to 110°C
Maximun  ΔP during opening	KF25/40/50、CF35	<1 bar
	ISO63~100、CF63~100	<0.2 bar
Standard accessories	M12 Single-Ended Cordset, 5 Poles, Female (Straight) to Pigtail by CAN Bus, 1.0 meter in length.*1.(Can optional cable length)

(*1) Body and Plate material can choose aluminum alloy.

(*2) The Cycle life of valve is apply to room temperature 25°C and clean environment, and the opening action apply to be less than 10 mbar pressure difference. (If the opening action exceeds the pressure difference of 10 mbar, it is not covered by this guarantee.)

(*3) If there is particle issue in the working condition of the valve , please clean the valve plate and body regularly and apply some vacuum grease on these parts.

Control and actuating unit
Input voltage	+24 VDC	connector: POWER
Power consumption	85W	connector: POWER
Sensor power supply output	+24 VDC /+-15VDC， 500 mA	connector: SENSOR
Analog input
Q’ty of sensors	Independent 2 channel	connector: SENSOR
Input voltage	0-10V DC linear	connector: SENSOR
Resolution	2.3 mV	connector: SENSOR
Input resistance	Ri>=47kΩ	connector: SENSOR
Admissible operating temperature
Controller	≦70 ℃ -24HR
Control accuracy	0.1% of maximum sensor range
Position resolution	8000 (step 0-90orotation)
Backup power	Yes
KF25,KF40,KF50, CF35
Closing time	<0.3sec
Opening time	<0.3sec
Valve max. torque	15kg-cm
ISO63, ISO80, ISO100, CF63, CF100
Closing time	<0.85sec
opening time	<0.85sec
Valve max. torque	30kg-cm