バターフライバルブ
※ Please select product classify ※
APC Butterfly Valve for DeviceNET
CF TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet
KF TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet
ISO-F TYPE APC BUTTERFLY VALVE with DeviceNet
APC バターフライバルブ-DeviceNet通訊装置に設置方式
1. バルブ
2. プロセスチャンバー
3. ガス導入口
4. 圧力センサー
5. センサーケーブル
6. コントローラとアクチュエーター
7. リモートコントローラーケーブル
8. 電源ケーブル
9. 真空ポンプ
APC Butterfly Valve for DeviceNET
主要応用
真空圧力制御及び隔離応用産業
>> SEMI - 半導体
>> FPD - フラットパネルディスプレイ
>> PVD - 物理蒸着
>> Solar - 太陽電池
APC Butterfly valve-DeviceNet
Specifications
>> Sensor supply : 24V DC or ±15V DC
>> Backup power : Yes
>> Sensor input
---->> Q'ty of sensors : 2 pcs
---->> Vacuum gauge: Linear / Exponent
>> Control accuracy : 0.1% of maximum sensor range
>> DeviceNet specification Volume 1, Release 2.0 & Volume II, Release 2.0.
>> Manual configuration facilitated by use of specific EDS files
>> Position resolution：8000 (step 0-90° rotation)
>> Ambient temperature: ≦70°C max(Controller part -24HR)
>> The valve can be controlled by a host (local) via RS232; For initial adjustment.
APC software functions for DeviceNet
APCソフトウェアーの使用、便利なパソコン操作性能を提供できる
- 制御チューニングパラメータを設定する: GAIN
- 圧力及び位置制御モード
- スケジュールテストモード=> 1 サイクル スケジュール
- バルブ開/閉速度設定
- APC HW/SW バージョン、シリアルコード、モデル番を記録する
- バルブサイクルと実行時間を記録する
- 圧力の公差範囲を設定する
- サイクルライフ及び圧力制御を記録する
- コントローラーパラメータをアップロードとダウンロード
- 停電保護
- 圧力ラーリング機能
APC butterfly valve for DeviceNet specification
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Valve unit |
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Material |
Body |
304S.S. (*1) |
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Plate |
304S.S. (*1) |
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Shaft |
304S.S. |
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Gate seal |
Viton |
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Shaft seal |
Viton |
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Flange |
KF、ISO、CF |
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Mounting position |
Any |
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Cycles until first service |
Pressure control |
2,000,000(*2) |
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Closing / Opening |
250,000 |
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Helium leak rate at 1 atm differential |
< 1 x 10-9 mbar．l/sec |
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Pressure range |
1 x 10-8 mbar to 1.2 bar |
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Operating temperature |
Body |
10°C to 110°C |
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Maximun ΔP during opening |
KF25/40/50、CF35 |
<1.2 bar |
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ISO63~100、CF63~100 |
<0.2 bar |
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Standard accessories |
M12 Single-Ended Cordset, 5 Poles, Female (Straight) to Pigtail by CAN Bus, |
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(*1) Body and Plate material can choose aluminum alloy.
(*2) The Cycle life of valve is apply to room temperature 25°C and clean environment, and the opening action apply to be less than 10 mbar pressure difference. (If the opening action exceeds the pressure difference of 10 mbar, it is not covered by this guarantee.)
(*3) If there is particle issue in the working condition of the valve , please clean the valve plate and body regularly and apply some vacuum grease on these parts.
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Control and actuating unit |
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| Input voltage | +24 VDC | connector: POWER |
| Power consumption | 85W | connector: POWER |
| Sensor power supply output | +24 VDC /+-15VDC， 500 mA | connector: SENSOR |
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Analog input |
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| Q’ty of sensors | Independent 2 channel | connector: SENSOR |
| Input voltage | 0-10V DC linear | connector: SENSOR |
| Resolution | 2.3 mV | connector: SENSOR |
| Input resistance | Ri>=47kΩ | connector: SENSOR |
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Admissible operating temperature |
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| Controller |
≦70 ℃ -24HR |
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| Control accuracy |
0.1% of maximum sensor range |
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| Position resolution |
8000 (step 0-90orotation) |
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| Backup power |
Yes |
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KF25,KF40,KF50, CF35 |
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| Closing time |
<0.3sec |
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| Opening time |
<0.3sec |
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| Valve max. torque |
15kg-cm |
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ISO63, ISO80, ISO100, CF63, CF100 |
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| Closing time |
<0.85sec |
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| opening time |
<0.85sec |
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| Valve max. torque |
30kg-cm |
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バターフライバルブは常に隔離と流量調整の用途を使用されている。その製品の開閉構造はディスクの板で気流を開閉と調整する。操作方法はボールバルブと似て、迅速に開閉できる。製品の構造簡単で、重量も軽くて、製品の組立も容易である。
Htc vacuum(日揚科技)は各種なバターフライバルブを供給可能である。製品の特長は使用寿命が長いし、高品質と性能が良い。優れた設計構造で長い時間を使用して、修理必要がない。バターフライバルブの駆動方式は手動式、圧空式、自動圧力制御(APC)の3種類がある。修理しなくても可能である。
バターフライバルブを開閉した時、円いディスクの板が本体から飛び出すから、接続相手品の配管内径と干渉する恐れがある。そのため、製品を組合せる前、先ずの配管内径寸法をご確認下さい。
