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製品の内訳
日本のシンクロトロン放射UHV室
Material：S.S.304
Surface treatment: Electro-polished
Spec.：CF 350 Flange rectangle UHV chamber
Leak rate<2 x 10-10mbar.l/sec
Operation Pressure<7.5 x10-10 torr
When the total pressure is below 1 x10-9 torr, partial pressure of above 45amu is <0.1%.
