學術研究單位UHV超高真空腔體
高科技真空系統環境製程的開發初期都需要在研究單位、實驗室進行許多真空測試,Htc日揚真空製造之客製化真空腔體裝配於多種研究實驗設備,為研究者提供了適當工具以進行各項高科技製程實驗。Htc日揚真空已建立的實績包括各種實驗用真空鍍膜腔體、太空腔模擬裝置、表面分析系統、光學量測系統及氣體檢測設備等,另外也承製了國內外同步輻射中心超高真空系統的腔體、真空鍍膜機、蒸發鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、離子鍍膜機和等離子化學沉積真空裝置學術研究。
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