バターフライバルブ
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システムに圧空式バターフライバルブ設置について
A : ポンプ
B : Htc 圧空式バターフライバルブ
C : プロセスチャンバー
D : ゲージ
E : ガス入り口
B : Htc 圧空式バターフライバルブ
C : プロセスチャンバー
D : ゲージ
E : ガス入り口
製品応用
Htc圧空式バターフライバルブはローターリングシリンダを採用している。シールプレートにOリングシールの設計で、完全に真空側と大気側を隔離可能である。製品の特徴は構造簡単、操作容易、製品サイズ小、サイクルライフ長い。
その製品は常にポンプとプロセスチャンバーの間に設置する。製造プロセスの汚れと腐食性ガスを完全に隔離可能である。
応用產業
>> FPD - Flat Panel Display>> SEMI - Semiconductor
>> PVD - Physical Vapor Deposition
設計原理 / 特徴
開閉迅速
♦ Oリングシールで完全大気と真空隔離.
♦ ポジションインジケータ
♦ 任意取付方向.
♦ 長いサイクルライフ
♦ 高コンダクタンス
製品仕様
♦ NW25 / NW40 / NW50
♦ ISO63 / ISO100 / ISO160 / ISO200 / ISO250
ボディー / プレート / シャフト材質
ステンレス
バターフライバルブは常に隔離と流量調整の用途を使用されている。その製品の開閉構造はディスクの板で気流を開閉と調整する。操作方法はボールバルブと似て、迅速に開閉できる。製品の構造簡単で、重量も軽くて、製品の組立も容易である。
Htc vacuum(日揚科技)は各種なバターフライバルブを供給可能である。製品の特長は使用寿命が長いし、高品質と性能が良い。優れた設計構造で長い時間を使用して、修理必要がない。バターフライバルブの駆動方式は手動式、圧空式、自動圧力制御(APC)の3種類がある。修理しなくても可能である。
バターフライバルブを開閉した時、円いディスクの板が本体から飛び出すから、接続相手品の配管内径と干渉する恐れがある。そのため、製品を組合せる前、先ずの配管内径寸法をご確認下さい。
