真空ゲートバルブ
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製品仕様:
- ロック付けシリンダーを採用して、正確に第3位置をストップできる。
- リードセンサー検知で第3位置の開度を設定と調整する。
- 開度位置の精度が良い、誤差値±1%
- プロシージャコントロールはプログラム化可能である。
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材質 |
本体 |
304 S.S. |
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搬送部 |
304 S.S. |
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ゲート |
304 S.S. |
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ベローズ |
AM350 |
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寿命 |
HV :DN100 ~ 200ー30万回 DN250 ~ ー 200万回 UHV :DN100 ー 10万回 |
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1気圧の差圧でHeリークレート |
＜2×10-9 mbar․l /secー Oリングシール ＜5×10-10 mbar․l /sec ーガスケットシール |
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べーキン温度 |
開 |
200℃ Viton® ボンネットシール |
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閉 |
150℃ Viton® ボンネットシール |
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圧力範囲 (mbar) |
HV: 1x10-8 ～ 1000 UHV: 1x10-10 ～1000 |
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最大差圧ΔP (mbar) |
≦ 30 開く前 |
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標準シール |
ゲート |
バイトン Oリング |
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ボンネット |
VバイトンOリング或は OFHC ガスケット |
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駆動器 |
圧空式 |
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エアー供給接続チューブ |
Ø6 mm |
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表面処理 |
スコッチ研磨 |
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オプション |
a. ポジションインジケータ |
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真空ゲートバルブは常に配管と接続か遮断を使用している。そのため、真空ゲートバルブは真空装置の配管に不可欠な役割を果たす。
Htc vacuum(日揚科技)のゲートバルブは。操作方式にて手動式及び圧空式の2種類がある。優れた製造精度と安定な品質で各種な高真空及び超高真空の環境に満足できる。
Htc vacuum(日揚科技)は各寸法のゲートバルブを提供可能です。接続フランジはKF、ISO、CF等以外、JIS規格の特製フランジでも可能です。
応用範囲：真空排気システム、高真空等応用の排気システム、半導体の真空装置、研究用の真空装置等。
Advanced service and support
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Htc vacuum(日揚科技)のゲートバルブは顧客の応用を応じて特製品を製造可能です。左の写真の様に手動の規格品に弁体に粗引きのポートを追加加工して、顧客の特製品になった。 何が特殊なニーズがありましたら、お気軽でメールしてください。製品のサイズやポート繋ぎ式等を検討可能です。 |
ゲートバルブは常に実験研究の装置に使用している。バルブを取付ける前、バルブに残留ガス分析計(RGA)でガス放出状況を確認必要である。Htc Vacuum(日揚科技)のRGA測定システムはインフィコン製のMPH100Mの残留ガス分析計を設置している。その分析計は業界最高の測定速度、最小検知分圧及びS/N比を実現できる。そのため、顧客はRGAを測定の要望がある場合、RGA測定レポートを提供可能である。測定費用は別途にお気軽にお問合せ下さい. 
